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X射线衍射成像系统

产品简介

X射线衍射成像系统芯基石依托中科院博士后团队的深厚技术积累，历时多年攻坚，成功研发出专为生产监控设计的晶圆 X 射线衍射成像仪（XRT）。该设备利用高精度X射线技术，无损透视材料内部晶格结构，可离线/全自动测量单晶硅/碳化硅/氮化镓等多种材质裸晶圆内部缺陷，可以检查内部微裂纹/位错/夹杂物/微管/沉淀物/滑移/堆垛层错/表面划痕/亚晶粒等缺陷，并自带算法，可以提供非标定制服务。

产品型号：CS-XRT700i

更新时间：2026-04-14

厂商性质：生产厂家

访问量：26

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芯基石依托中科院博士后团队的深厚技术积累，历时多年攻坚，成功研发出专为生产监控设计的晶圆 X 射线衍射成像仪（XRT）。

X射线衍射成像系统与美系日系国际竞品相比，芯基石 XRT实现了核心部件的自主可控。这不仅意味着实惠的价格，大幅降低了企业的导入成本，更意味着交付周期缩短至 3-6 个月，且不受国际供应链波动影响。

该设备利用高精度X射线技术，无损透视材料内部晶格结构，可离线/全自动测量单晶硅/碳化硅/氮化镓等多种材质裸晶圆内部缺陷，可以检查内部微裂纹/位错/夹杂物/微管/沉淀物/滑移/堆垛层错/表面划痕/亚晶粒等缺陷，并自带算法，可以提供非标定制服务。

X射线衍射成像系统测试主要关注点

通过XRT检测单晶硅内部是否有缺陷。

测试方案

对样品进行X光扫描，得到样品图片和详细数据¥针对X光图片进行分析，区分是否有缺陷。

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