X射线衍射成像技术,芯基石依托中科院博士后团队的深厚技术积累,历时多年攻坚,成功研发出专为生产监控设计的晶圆 X 射线衍射成像仪(XRT)。该设备利用高精度X射线技术,无损透视材料内部晶格结构,可离线/全自动测量单晶硅/碳化硅/氮化镓等多种材质裸晶圆内部缺陷,可以检查内部微裂纹/位错/夹杂物/微管/沉淀物/滑移/堆垛层错/表面划痕/亚晶粒等缺陷,并自带算法,可以提供非标定制服务。
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x射线衍射仪,芯基石依托中科院博士后团队的深厚技术积累,历时多年攻坚,成功研发出专为生产监控设计的晶圆 X 射线衍射成像仪(XRT)。该设备利用高精度X射线技术,无损透视材料内部晶格结构,可离线/全自动测量单晶硅/碳化硅/氮化镓等多种材质裸晶圆内部缺陷,可以检查内部微裂纹/位错/夹杂物/微管/沉淀物/滑移/堆垛层错/表面划痕/亚晶粒等缺陷,并自带算法,可以提供非标定制服务。
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晶体x射线衍射,芯基石依托中科院博士后团队的深厚技术积累,历时多年攻坚,成功研发出专为生产监控设计的晶圆 X 射线衍射成像仪(XRT)。该设备利用高精度X射线技术,无损透视材料内部晶格结构,可离线/全自动测量单晶硅/碳化硅/氮化镓等多种材质裸晶圆内部缺陷,可以检查内部微裂纹/位错/夹杂物/微管/沉淀物/滑移/堆垛层错/表面划痕/亚晶粒等缺陷,并自带算法,可以提供非标定制服务。
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晶圆XRT成像技术,芯基石依托中科院博士后团队的深厚技术积累,历时多年攻坚,成功研发出专为生产监控设计的晶圆 X 射线衍射成像仪(XRT)。该设备利用高精度X射线技术,无损透视材料内部晶格结构,可离线/全自动测量单晶硅/碳化硅/氮化镓等多种材质裸晶圆内部缺陷,可以检查内部微裂纹/位错/夹杂物/微管/沉淀物/滑移/堆垛层错/表面划痕/亚晶粒等缺陷,并自带算法,可以提供非标定制服务。
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晶圆XRT成像仪,芯基石依托中科院博士后团队的深厚技术积累,历时多年攻坚,成功研发出专为生产监控设计的晶圆 X 射线衍射成像仪(XRT)。该设备利用高精度X射线技术,无损透视材料内部晶格结构,可离线/全自动测量单晶硅/碳化硅/氮化镓等多种材质裸晶圆内部缺陷,可以检查内部微裂纹/位错/夹杂物/微管/沉淀物/滑移/堆垛层错/表面划痕/亚晶粒等缺陷,并自带算法,可以提供非标定制服务。
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X射线衍射成像系统芯基石依托中科院博士后团队的深厚技术积累,历时多年攻坚,成功研发出专为生产监控设计的晶圆 X 射线衍射成像仪(XRT)。该设备利用高精度X射线技术,无损透视材料内部晶格结构,可离线/全自动测量单晶硅/碳化硅/氮化镓等多种材质裸晶圆内部缺陷,可以检查内部微裂纹/位错/夹杂物/微管/沉淀物/滑移/堆垛层错/表面划痕/亚晶粒等缺陷,并自带算法,可以提供非标定制服务。
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