X射线衍射成像仪

X射线衍射成像仪芯基石依托中科院博士后团队的深厚技术积累，历时多年攻坚，成功研发出专为生产监控设计的晶圆 X 射线衍射成像仪（XRT）。该设备利用高精度X射线技术，无损透视材料内部晶格结构，可离线/全自动测量单晶硅/碳化硅/氮化镓等多种材质裸晶圆内部缺陷，可以检查内部微裂纹/位错/夹杂物/微管/沉淀物/滑移/堆垛层错/表面划痕/亚晶粒等缺陷，并自带算法，可以提供非标定制服务。

XRT成像系统

XRT成像系统,芯基石依托中科院博士后团队的深厚技术积累，历时多年攻坚，成功研发出专为生产监控设计的晶圆 X 射线衍射成像仪（XRT）。该设备利用高精度X射线技术，无损透视材料内部晶格结构，可离线/全自动测量单晶硅/碳化硅/氮化镓等多种材质裸晶圆内部缺陷，可以检查内部微裂纹/位错/夹杂物/微管/沉淀物/滑移/堆垛层错/表面划痕/亚晶粒等缺陷，并自带算法，可以提供非标定制服务。

XRT成像仪

XRT成像仪芯基石依托中科院博士后团队的深厚技术积累，历时多年攻坚，成功研发出专为生产监控设计的晶圆 X 射线衍射成像仪（XRT）。该设备利用高精度X射线技术，无损透视材料内部晶格结构，可离线/全自动测量单晶硅/碳化硅/氮化镓等多种材质裸晶圆内部缺陷，可以检查内部微裂纹/位错/夹杂物/微管/沉淀物/滑移/堆垛层错/表面划痕/亚晶粒等缺陷，并自带算法，可以提供非标定制服务。

国产替代晶圆X射线衍射成像仪（XRT）

国产替代晶圆X射线衍射成像仪（XRT）芯基石依托中科院博士后团队的深厚技术积累，历时多年攻坚，成功研发出专为生产监控设计的晶圆 X 射线衍射成像仪（XRT）。该设备利用高精度X射线技术，无损透视材料内部晶格结构，可离线/全自动测量单晶硅/碳化硅/氮化镓等多种材质裸晶圆内部缺陷，可以检查内部微裂纹/位错/夹杂物/微管/沉淀物/滑移/堆垛层错/表面划痕/亚晶粒等缺陷，并自带算法，可以提供非标定制服务。

晶圆X射线衍射成像仪（XRT）

晶圆X射线衍射成像仪（XRT）芯基石依托中科院博士后团队的深厚技术积累，历时多年攻坚，成功研发出专为生产监控设计的晶圆 X 射线衍射成像仪（XRT）。该设备利用高精度X射线技术，无损透视材料内部晶格结构，可离线/全自动测量单晶硅/碳化硅/氮化镓等多种材质裸晶圆内部缺陷，可以检查内部微裂纹/位错/夹杂物/微管/沉淀物/滑移/堆垛层错/表面划痕/亚晶粒等缺陷，并自带算法，可以提供非标定制服务。